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EX2自动椭圆偏振测厚仪

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产品摘要

  • 南北仪器是EX2自动椭圆偏振测厚仪产品的供应商,提供EX2自动椭圆偏振测厚仪全套产品的价格,参数,价钱,报价,品牌等资料,欢迎来电咨询优惠价钱,南北仪器品质提供

 

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EX2自动椭圆偏振测厚仪是基于消光法(或称“零椭偏”)椭偏测量原理,针对纳米薄膜厚度测量领域推出的一款自动测量型教学仪器。

EX2仪器适用于纳米薄膜的厚度测量,以及纳米薄膜的厚度和折射率同时测量。

EX2仪器还可用于同时测量块状材料(如,金属、半导体、介质)的折射率n和消光系数k。

特点

经典消光法椭偏测量原理

仪器采用消光法椭偏测量原理,易于操作者理解和掌握椭偏测量基本原理和过程。

方便安全的样品水平放置方式

采用水平放置样品的方式,方便样品的取放。

紧凑的一体化结构

集成一体化设计,简洁的仪器外形通过USB接口与计算机相连,方便使用。

高准确性的激光光源

采用激光作为探测光波,测量波长准确度高。

丰富实用的样品测量功能

可测量纳米薄膜的膜厚和折射率;块状材料的复折射率、样品反射率、样品透过率。

便捷的自动化操作

仪器软件可自动完成样品测量,并可进行方便的测量数据分析、仪器校准等操作。

安全的用户使用权限管理

软件中设置了用户使用权限(包括:管理员、操作者等模式),便于仪器管理和使用。

可扩展的仪器功能

利用本仪器,可通过适当扩展,完成多项偏振测量实验,如马吕斯定律实验、旋光测量实、旋光等。

应用

EX2适合于教学中单层纳米薄膜的薄膜厚度测量,也可用于测量块状材料的折射率n和消光系数k。

EX2可测量的样品涉及微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、化学、电化学、磁质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等领域。

技术指标

项目

技术指标

仪器型号

EX2

测量方式

自动测量

样品放置方式

水平放置

光源

He-Ne激光器,波长632.8nm

膜厚测量重复性*

0.5nm (对于Si基底上99nm的SiO2膜层)

膜厚范围

透明薄膜:1-4000nm

吸收薄膜则与材料性质相关

折射率范围

1.3 – 10

探测光束直径

Φ2-3mm

入射角度

30°-90°,精度0.05°

偏振器方位角读数范围

0-360°

偏振器步进角

0.014°

样品方位调整

Z轴高度调节:16mm

二维俯仰调节:±4°

允许样品尺寸

样品直径可达Φ160mm

配套软件

* 用户权限设置

* 多种测量模式选择

* 多个测量项目选择

* 方便的数据分析、计算、输入输出

大外形尺寸

约400*400*250mm

仪器重量(净重)

约20Kg

选配件

* 半导体激光器

标签: ESS01波长扫描式自动变角度光谱椭偏仪 EX3 自动椭圆偏振测厚仪
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